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Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale (eBook)

Stephen Campbell (Autor)

eBook Download: PDF

2020
Oxford University Press (Verlag)
978-0-19-754788-5 (ISBN)

In the education area, Professor Campbell leads the University of Minnesota's participation in Nano-Link, an NSF sponsored regional center for nanotechnology education at the AAS level. He has designed and implemented a one-semester capstone experience Microelectronic Fabrication and created the text book as a result. Designed for advanced undergraduate or first-year graduate courses in semiconductor or microelectronic fabrication, this fourth edition of Fabrication Engineering at the Micro- and Nanoscale provides a thorough and accessible introduction to all fields of micro and nano fabrication. The text covers the entire basic unit processes used to fabricate integrated circuits and other devices.

Erscheint lt. Verlag	19.5.2020
Sprache	englisch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
	Technik ► Luft- / Raumfahrttechnik
	Technik ► Maschinenbau
ISBN-10	0-19-754788-5 / 0197547885
ISBN-13	978-0-19-754788-5 / 9780197547885

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