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Epitaxial Graphene on Silicon Carbide (eBook)

Modeling, Characterization, and Applications

Philippe Godignon, Gemma Rius (Herausgeber)

eBook Download: PDF

2018
260 Seiten
Pan Stanford Publishing (Verlag)
978-1-351-73622-0 (ISBN)

This is the first book dedicated exclusively to epitaxial graphene on silicon carbide (EG-SiC). It comprehensively addresses all fundamental aspects relevant for the study and technology development of EG materials and their applications, using quantum Hall effect studies and probe techniques such as scanning tunneling microscopy and atomic resolution imaging based on transmission electron microscopy. It presents the state of the art of the synthesis of EG-SiC and profusely explains it as a function of SiC substrate characteristics such as polytype, polarity, and wafer cut as well as the in situ and ex situ conditioning techniques, including H2 pre-deposition annealing and chemical mechanical polishing. It also describes growth studies, including the most popular characterization techniques, such as ultrahigh-vacuum, partial-pressure, or graphite-cap sublimation techniques, for high-quality controlled deposition. The book includes relevant examples on synthesis and characterization techniques as well as device fabrication processing and performance and complements them with theoretical modeling and simulation studies, which are helpful in the fundamental comprehension of EG-SiC substrates and their potential use in electronic applications. It addresses the fundamental aspects of EG-SiC using quantum Hall effect studies as well as probe techniques, such as scanning tunneling microscopy or atomic resolution imaging based on transmission electron microscopy. It comprises chapters that present reviews and vision on the current state of the art of experts in physics, electronic engineering, materials science, and nanotechnology from Europe and Asia.

Erscheint lt. Verlag	19.1.2018
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Biologie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik
	Technik ► Maschinenbau
ISBN-10	1-351-73622-1 / 1351736221
ISBN-13	978-1-351-73622-0 / 9781351736220

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