Vakuumbeschichtung
Band 3: Anlagenautomatisierung Mess- und Analysentechnik
Seiten
1994
|
1., Aufl.
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-62269-7 (ISBN)
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-62269-7 (ISBN)
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Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.
| Reihe/Serie | VDI-Buch |
|---|---|
| Zusatzinfo | 268 Abb. |
| Sprache | deutsch |
| Gewicht | 844 g |
| Einbandart | gebunden |
| Themenwelt | Technik |
| Schlagworte | Beschichtung • Vakuum |
| ISBN-10 | 3-540-62269-1 / 3540622691 |
| ISBN-13 | 978-3-540-62269-7 / 9783540622697 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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