Vakuumbeschichtung
Springer Berlin (Verlag)
978-3-642-63511-3 (ISBN)
1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.- 1.1 Vorbemerkungen.- 1.2 Steuerungssysteme.- 1.3 Materialfluß.- 1.4 Automatisierung von Teilsystemen.- 1.5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen.- 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses.- 2.1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung.- 2.2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung.- 2.3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz.- 2.4 Optische Meßverfahren.- 2.5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum.- 2.6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz.- 2.7 Atomemissionsspektroskopie.- 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß.- 3.1 Messung der thermischen Leitfähigkeit.- 3.2 Elektrische Leitfähigkeit.- 3.3 Magnetische Eigenschaften.- 3.4 Messung von Farbeigenschaften.- 3.5 Optische Eigenschaften.- 3.6 Permeation.- 3.7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten.- 3.8 Härtemessung.- 3.9 Haftfestigkeit.- 3.10 Rauheit von Festkörperoberflächen.- 3.11 Mikrogeometrische Eigenschaften.- 3.12 Schichtdickenmessung.- 3.13 Bestimmung von Pinholedichten.- 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse.- 4.1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren.- 4.2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS.- 4.3 Sputter-Tiefenprofilanalysen.- 4.4 Rastertunnelmikroskopie.- 4.5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde).- 4.6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik.- Literatur.- Sachwortverzeichnis.- Autorenverzeichiiis.
| Erscheint lt. Verlag | 30.10.2012 |
|---|---|
| Reihe/Serie | VDI-Buch |
| Zusatzinfo | XII, 368 S. |
| Verlagsort | Berlin |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 155 x 235 mm |
| Gewicht | 580 g |
| Themenwelt | Technik ► Maschinenbau |
| Schlagworte | 3184013138 • Dickenmessverfahren • dünne Schichten • Schichtdicke • Vakuumbeschichten |
| ISBN-10 | 3-642-63511-3 / 3642635113 |
| ISBN-13 | 978-3-642-63511-3 / 9783642635113 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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