Ion Implantation Science and Technology (eBook)
648 Seiten
Elsevier Science (Verlag)
978-0-323-14401-8 (ISBN)
Ion Implantation: Science and Technology serves as both an introduction to and tutorial on the science, techniques, and machines involved in ion implantation. The book is divided into two parts. Part 1 discusses topics such as the history of the ion implantation; the different types and purposes of ion implanters; the penetration of energetic ions into solids; damage annealing in silicon; and ion implantation metallurgy. Part 2 covers areas such as ion implementation system concepts; ion sources; underlying principles related to ion optics; and safety and radiation considerations in ion implantation. The text is recommended for engineers who would like to be acquainted with the principles and processes behind ion implantation or make studies on the field.
| Erscheint lt. Verlag | 2.12.2012 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Quantenphysik |
| Technik | |
| ISBN-10 | 0-323-14401-2 / 0323144012 |
| ISBN-13 | 978-0-323-14401-8 / 9780323144018 |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
| Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
PDF (Adobe DRM)Kopierschutz: Adobe-DRM
Adobe-DRM ist ein Kopierschutz, der das eBook vor Mißbrauch schützen soll. Dabei wird das eBook bereits beim Download auf Ihre persönliche Adobe-ID autorisiert. Lesen können Sie das eBook dann nur auf den Geräten, welche ebenfalls auf Ihre Adobe-ID registriert sind.
Details zum Adobe-DRM
Dateiformat: PDF (Portable Document Format)
Mit einem festen Seitenlayout eignet sich die PDF besonders für Fachbücher mit Spalten, Tabellen und Abbildungen. Eine PDF kann auf fast allen Geräten angezeigt werden, ist aber für kleine Displays (Smartphone, eReader) nur eingeschränkt geeignet.
Systemvoraussetzungen:
PC/Mac: Mit einem PC oder Mac können Sie dieses eBook lesen. Sie benötigen eine
eReader: Dieses eBook kann mit (fast) allen eBook-Readern gelesen werden. Mit dem amazon-Kindle ist es aber nicht kompatibel.
Smartphone/Tablet: Egal ob Apple oder Android, dieses eBook können Sie lesen. Sie benötigen eine
Geräteliste und zusätzliche Hinweise
Buying eBooks from abroad
For tax law reasons we can sell eBooks just within Germany and Switzerland. Regrettably we cannot fulfill eBook-orders from other countries.
aus dem Bereich
