Blick ins Buch

Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

Klaus-Dieter Sauter (Autor)

Buch | Softcover

118 Seiten

1990
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-53236-1 (ISBN)

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Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Gründen eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhöhung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhöhen. Mit Blick darauf werden die spezifischen Merkmale der Halbleiterfertigung analysiert und daraus die Anforderungen an ein darauf abgestimmtes informationstechnisches Konzept abgeleitet. Dabei zeigt sich, daß Bediener, Leittechnik, Fertigungsgerät und Fördergut berücksichtigt werden müssen. Nach einer Strukturierung von Fertigungsdaten sowie einer Definition von Funktionsebenen und Organisationseinheiten wird ein Spektrum von Lösungen für die integrierte, automatisierte Betriebsdatenerfassung, Prozeßdatenvorgabe und Fördergutidentifikation erarbeitet und bewertet. Für die ausgewählte Lösung wird eine Konzeption mit einem Prototyp entwickelt. Anhand von Erfahrungen aus einer Pilotimplementierung werden die Einsatzmöglichkeiten und -grenzen des Informationssystems aufgezeigt.

Abkürzungen und Formelzeichen.- 1 Einleitung.- 1.1 Problemstellung.- 1.2 Zielsetzung und Vorgehensweise.- 2 Stand der Technik.- 2.1 Begriffe und Definitionen.- 2.2 Chipfertigung.- 2.3 Gerätetechnik.- 2.4 Informationsverarbeitung in der Fertigung.- 3 Analyse von Schwachstellen der Chipfertigung.- 3.1 Fehlerursachen in der Chipfertigung.- 3.2 Schwachstellen in Organisation und Struktur.- 3.3 Materialfluß und Logistik.- 3.4 Schwachstellen in der Informationsverarbeitung.- 3.5 Manuelle Eingriffe.- 3.6 Zusammenfassung der Analyseergebnisse.- 4 Ableitung der Entwicklungsschwerpunkte.- 4.1 Strukturierung der Anforderungen.- 4.2 Aufstellung des Systempflichtenheftes.- 5 Entwicklung und Bewertung von Lösungsalternativen.- 5.1 Voraussetzungen für die Lösungsfindung.- 5.2 Erfüllung der Forderungen.- 5.3 Bewertung.- 6 Konzeption des werkstückbegleitenden Informationssystems.- 6.1 Organisationsstruktur.- 6.2 Funktionsmodularisierung.- 6.3 Grundbetriebsarten.- 6.4 Bedienung.- 6.5 Basisfunktionen.- 6.6 Hardwarearchitektur.- 6.7 Gerätetechnische Ausführung.- 7 Realisierung des werkstückbegleitenden Informationssystems.- 7.1 Aufbau eines Funktionsmusters.- 7.2 Integration in eine Pilotzelle.- 7.3 Erfahrungen bei der Realisierung.- 8 Zusammenfassung und Ausblick.- 8.1 Zusammenfassung.- 8.2 Ausblick.- 9 Literaturverzeichnis.

Erscheint lt. Verlag	7.11.1990
Reihe/Serie	IPA-IAO - Forschung und Praxis
Zusatzinfo	118 S.
Verlagsort	Berlin
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Gewicht	210 g
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Themenwelt	Wirtschaft ► Betriebswirtschaft / Management ► Unternehmensführung / Management
Schlagworte	Anforderungen • Automatisierung • Einheit • Engineering Economics • Entwicklung • Fertigung • Halbleiter • Informationssystem • Logistik • Mikroelektronik • Optimierung • Organisation • Organisationseinheiten • Organisationsstruktur • Spektrum • Technik
ISBN-10	3-540-53236-6 / 3540532366
ISBN-13	978-3-540-53236-1 / 9783540532361
Zustand	Neuware