Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing (eBook)
368 Seiten
CRC Press (Verlag)
978-1-4200-4066-1 (ISBN)
Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine 'runs,' thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.
Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "e;runs,"e; thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.
| Erscheint lt. Verlag | 8.10.2018 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Sachbuch/Ratgeber |
| Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 1-4200-4066-9 / 1420040669 |
| ISBN-13 | 978-1-4200-4066-1 / 9781420040661 |
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