Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
Seiten
2022
|
2., unveränderte Auflage (Erstauflage 2000)
utzverlag GmbH
9783831686353 (ISBN)
utzverlag GmbH
9783831686353 (ISBN)
- Titel ist leider vergriffen;
keine Neuauflage - Artikel merken
Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
| Erscheint lt. Verlag | 13.7.2022 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Physikalische Chemie |
| Verlagsort | München |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 145 x 205 mm |
| Gewicht | 140 g |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Physikalische Chemie |
| Schlagworte | Carl • Diffusion • DUV Lithography • Phase-Shifting Masks • Photoresist • Tone Reversal |
| ISBN-13 | 9783831686353 / 9783831686353 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
| Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Mehr entdecken
aus dem Bereich
aus dem Bereich
Quantenmechanik | Spektroskopie | Statistische Thermodynamik
Buch | Softcover (2024)
De Gruyter (Verlag)
CHF 83,90
200 Aufgaben zum sicheren Umgang mit Quellen ionisierender Strahlung
Buch | Hardcover (2023)
Hanser, Carl (Verlag)
CHF 48,95
Thermodynamik | Kinetik | Elektrochemie
Buch | Softcover (2024)
De Gruyter (Verlag)
CHF 83,90
