Diffusion Phenomena in the chemically amplified CARL® Resist System
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| Reihe/Serie | Physikalische Chemie |
|---|---|
| Zusatzinfo | 72 Abb., 2 Tab. |
| Sprache | englisch |
| Maße | 145 x 205 mm |
| Gewicht | 125 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Physikalische Chemie |
| Schlagworte | HC/Chemie/Physikalische Chemie |
| ISBN-13 | 9783896758453 / 9783896758453 |
| Zustand | Neuware |
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