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Wafer Fabrication -  Jie Zhang

Wafer Fabrication (eBook)

Automatic Material Handling System

(Autor)

eBook Download: PDF
2018 | 1. Auflage
284 Seiten
Walter de Gruyter GmbH & Co.KG (Verlag)
978-3-11-048747-3 (ISBN)
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This book systematically introduces modeling, performance evaluation and applications of Automatic Materiel Handling System (AMHS) in semiconductor manufactucing, and focuses discussion on the coordination of two subsystems. Resources dispatch and optimization are conducted on operational research combined with cases studies. Written in a practical way, it is an essential reference for researchers and engineers in manufacturing and management.



Jie Zhang, Shanghai Jiaotong University, Shanghai, China

Erscheint lt. Verlag 24.9.2018
Co-Autor Huazhong University of Science and Technology
Sprache englisch
Themenwelt Technik Bauwesen
Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Technik Maschinenbau
Wirtschaft Betriebswirtschaft / Management Planung / Organisation
ISBN-10 3-11-048747-0 / 3110487470
ISBN-13 978-3-11-048747-3 / 9783110487473
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