CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als High-K-Dielektrika auf SOI-Substraten
Seiten
2008
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-7044-5 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-7044-5 (ISBN)
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| Reihe/Serie | Berichte aus der Halbleitertechnik |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 203 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | CMOS • Epitaktische Dielektrika • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • High-K • Metall-Gate • SOI |
| ISBN-10 | 3-8322-7044-2 / 3832270442 |
| ISBN-13 | 978-3-8322-7044-5 / 9783832270445 |
| Zustand | Neuware |
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