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CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als High-K-Dielektrika auf SOI-Substraten

Buch | Softcover
135 Seiten
2008 | 1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-7044-5 (ISBN)
CHF 64,10 inkl. MwSt
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Reihe/Serie Berichte aus der Halbleitertechnik
Sprache deutsch
Maße 148 x 210 mm
Gewicht 203 g
Einbandart Paperback
Themenwelt Technik Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte CMOS • Epitaktische Dielektrika • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • High-K • Metall-Gate • SOI
ISBN-10 3-8322-7044-2 / 3832270442
ISBN-13 978-3-8322-7044-5 / 9783832270445
Zustand Neuware
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