Diagnostik an HiPIMS-Magnetron- sputterplasmen
Seiten
2026
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH (Hersteller)
978-3-658-50590-5 (ISBN)
Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH (Hersteller)
978-3-658-50590-5 (ISBN)
- Noch nicht erschienen - erscheint am 01.03.2026
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| Erscheint lt. Verlag | 1.3.2026 |
|---|---|
| Reihe/Serie | BestMasters | Life Science and Basic Disciplines (German Language) |
| Zusatzinfo | VIII, 87 S. 43 Abb. |
| Verlagsort | Wiesbaden |
| Sprache | deutsch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Plasmaphysik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | Dünnschichtabscheidung • Materialwissenschaft • Plasmadiagnostik • Plasmaphysik • PVD • Sputtern |
| ISBN-10 | 3-658-50590-7 / 3658505907 |
| ISBN-13 | 978-3-658-50590-5 / 9783658505905 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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