Synthese nanostrukturierter Dünnschichten mittels Nanopartikeleindüsung am Beispiel löslicher Systeme
Seiten
2025
Vulkan-Verlag
978-3-8027-8838-3 (ISBN)
Vulkan-Verlag
978-3-8027-8838-3 (ISBN)
In der vorliegenden Arbeit wird ein hybrider Ansatz zur Erzeugung von Nanokompositschichten untersucht, bei dem beide nanokristallinen Phasen zeitgleich aber lokal getrennt hergestellt und erst auf dem zu beschichtenden Substrat kombiniert werden. Dazu werden Nanopartikel in einem atmosphärischen Lichtbogenreaktor synthetisiert und mittels eines aerodynamischen Linsensystems in die wachsende PVD-Schicht eingebettet. Am Beispiel der Systeme CrN und TiN, welche industriell relevante Schichtsysteme darstellen, konnte aufgezeigt werden, dass mit dem gewählten Ansatz nc-TiN/nc-CrN Nanokompositschichten hergestellt werden können.
| Erscheinungsdatum | 18.12.2025 |
|---|---|
| Reihe/Serie | LWT-Schriftenreihe ; 31 |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Themenwelt | Technik ► Maschinenbau |
| Schlagworte | B • Dünnschicht • Nanokomposit • Nanopartikel • PVD |
| ISBN-10 | 3-8027-8838-9 / 3802788389 |
| ISBN-13 | 978-3-8027-8838-3 / 9783802788383 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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