Blick ins Buch

Piezoelektrische Mikrosysteme

Entwurf, Fertigung und Charakterisierung piezoelektrischer mikroelektromechanischer Wandlersysteme auf Basis von Aluminiumnitrid

Chris Stöckel (Autor)

Buch | Softcover

254 Seiten

2025
Universitätsverlag Chemnitz
978-3-96100-255-9 (ISBN)

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In diesem Buch werden die theoretischen Grundlagen sowie das spezifische Fachwissen für den Entwurf und die Herstellung von piezoelektrischen Mikrosystemen mit Fokus auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid als Wandlermaterial vermittelt. Vom einfachen Beispiel des Freiträgers bis hin zu komplexen Mikrosystemen aus der Forschung und Entwicklung wird die Anwendung des theoretischen Wissens praktisch aufgezeigt. Eine Anwendung liegt im Bereich der aktiven Mikrooptiken mit piezoelektrischen mikro-opto-elektromechanischen Systemen, unter anderem für die Fluoreszenz-Endoskopie. Darüber hinaus wird ein piezoelektrischer Beschleunigungssensor vorgestellt, der intrinsisch Ladungsträger generiert und für energieeffiziente und energieautonome Systeme eingesetzt werden kann. Zudem werden der Entwurf, die Charakterisierung und Fertigung von hoch miniaturisierten, piezoelektrischen Ultraschallwandlern auf Basis der Mikrotechnologien aufgezeigt.

Erscheinungsdatum	17.04.2025
Zusatzinfo	Illustrationen, Diagramme
Verlagsort	Chemnitz
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Gewicht	373 g
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	MEMS • Mikrooptik • Mikrosystemtechnik • Nanotechnologie • Piezoelektrischer Wandler • Piezoelektrizität • Ultraschallwandler
ISBN-10	3-96100-255-X / 396100255X
ISBN-13	978-3-96100-255-9 / 9783961002559
Zustand	Neuware