Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium
Seiten
2006
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4826-0 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4826-0 (ISBN)
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- 20
| Reihe/Serie | Selected Topics of Electronics and Micromechatronics /Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik ; 20 |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 278 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | 2005 • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • KOH • Nasschemisches Ätzen • Technische Universität München |
| ISBN-10 | 3-8322-4826-9 / 3832248269 |
| ISBN-13 | 978-3-8322-4826-0 / 9783832248260 |
| Zustand | Neuware |
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