Kontaminationsprozesse in der Ionenimplantation
Seiten
2006
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4823-9 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-4823-9 (ISBN)
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- 2006/1
| Reihe/Serie | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2006/1 |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 284 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | 2005 • Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Kontamination • Masseninterferenzen • Simulation |
| ISBN-10 | 3-8322-4823-4 / 3832248234 |
| ISBN-13 | 978-3-8322-4823-9 / 9783832248239 |
| Zustand | Neuware |
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