Microelectromechanical Systems
Advanced Materials and Fabrication Methods
Seiten
1997
National Academies Press (Verlag)
978-0-309-05885-8 (ISBN)
National Academies Press (Verlag)
978-0-309-05885-8 (ISBN)
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| Verlagsort | Washington |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-309-05885-6 / 0309058856 |
| ISBN-13 | 978-0-309-05885-8 / 9780309058858 |
| Zustand | Neuware |
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