Mehrkomponenten Targets zum Sputtern von AlCr(W, Ta, Si)N-Systemen
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Diese Dissertation befasst sich mit der pulvermetallurgischen Herstellung innovativer PVD-Targetwerkstoffe zur Abscheidung von AlCrN-Hartstoffschichten mit Zugaben von Wolfram, Tantal und Silizium. Es werden Wechselwirkungen zwischen der chemischen Zusammensetzung und der Phasenkomposition der hergestellten Targets und deren Einfluss auf die tribo-mechanischen Schichteigenschaften der abgeschiedenen Dünnschichtsysteme.Die Ergebnisse zeigen das Potenzial der pulvermetallurgischen Targetproduktion mit Refraktärmetallen für die Entwicklung von Cr-basierten Nitridschichten mit Härten von bis zu 40 GPa.
| Erscheinungsdatum | 09.11.2023 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Werkstofftechnologische Schriftenreihe ; 25 |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Themenwelt | Technik ► Maschinenbau |
| Schlagworte | AlCrWSiN • B • Nanocomposite • pulvermetallurgisches Target • PVD |
| ISBN-10 | 3-8027-8832-X / 380278832X |
| ISBN-13 | 978-3-8027-8832-1 / 9783802788321 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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