Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Marlene Kopf (Autor)

Buch | Softcover

220 Seiten

2022
KIT Scientific Publishing (Verlag)
978-3-7315-1121-2 (ISBN)

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Aufgrund eines Trends zur Miniaturisierung vieler MEMS-Bauelemente und somit auch der Kavernenvolumina von Inertialsensoren wird der Einfluss geringfügiger Veranderungen der Dampfungsatmosphare in Sensorkavernen auf die Zuverlassigkeit der Sensoren immer großer. In dieser Arbeit werden Mechanismen untersucht, die sich auf die Druckstabilität von Gyroskopen auswirken, und Gegenmaßnahmen vorgestellt. Ein Schwerpunkt liegt auf Desorptionsquellen sowie Gasdiffusionspfaden im Sensoraufbau. Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of gyroscopes are investigated and countermeasures are presented. A focus is placed on desorption sources as well as gas diffusion paths in the sensor layer stack.

Erscheinungsdatum	02.04.2022
Reihe/Serie	Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik ; 45
Zusatzinfo	graph. Darst.
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Gewicht	420 g
Themenwelt	Technik ► Maschinenbau
Schlagworte	Dämpfung • damping atmosphere • Drehratensensor • Gyroscope • inertial sensor • Inertialsensor • MEMS Sensor • MEMS-Sensor • Q factor • Q-Faktor
ISBN-10	3-7315-1121-5 / 3731511215
ISBN-13	978-3-7315-1121-2 / 9783731511212
Zustand	Neuware