2003 Symposium on Process and Plasma Induced Damage
2003
I.E.E.E.Press (Hersteller)
9780780377486 (ISBN)
I.E.E.E.Press (Hersteller)
9780780377486 (ISBN)
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This text covers topics including; damage mechanism and modelling; antenna effect and process monitoring; high-K gate dielectric; and integration.
| Erscheint lt. Verlag | 30.6.2003 |
|---|---|
| Verlagsort | Piscataway NJ |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Angewandte Physik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-13 | 9780780377486 / 9780780377486 |
| Zustand | Neuware |
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