Laser Annealing Processes in Semiconductor Technology (eBook)
426 Seiten
Elsevier Science (Verlag)
978-0-12-820256-2 (ISBN)
Laser Annealing Processes in Semiconductor Technology: Theory, Modeling and Applications in Nanoelectronics synthesizes the scientific and technological advances of laser annealing processes for current and emerging nanotechnologies. The book provides an overview of the laser-matter interactions of materials and recent advances in modeling of laser-related phenomena, with the bulk of the book focusing on current and emerging (beyond-CMOS) applications. Reviewed applications include laser annealing of CMOS, group IV semiconductors, superconducting materials, photonic materials, 2D materials. This comprehensive book is ideal for post-graduate students, new entrants, and experienced researchers in academia, research and development in materials science, physics and engineering. - Introduces the fundamentals of laser materials and device fabrication methods, including laser-matter interactions and laser-related phenomena- Addresses advances in physical modeling and in predictive simulations of laser annealing processes such as atomistic modeling and TCAD simulations- Reviews current and emerging applications of laser annealing processes such as CMOS technology and group IV semiconductors
| Erscheint lt. Verlag | 21.4.2021 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| ISBN-10 | 0-12-820256-4 / 0128202564 |
| ISBN-13 | 978-0-12-820256-2 / 9780128202562 |
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