Untersuchung der mikrofluidischen Galvanik zur Herstellung von magnetfeldsensitiven Schichten und deren Eigenschaften

Mathias Rechel (Autor)

Buch

145 Seiten

2020 | 1. Erstausgabe
TEWISS (Verlag)
978-3-95900-462-6 (ISBN)

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In dieser Dissertation wird ein neuartiger Fertigungsansatz für die Realisierung anisotroper magnetoresistiver (AMR) Sensoren vorgestellt. Diese werden mit einem galvanischen Prozess in einem mikrofluidischen Kanal abgeschieden. Hierdurch wird der Einsatz von fotolithografischen Prozessschritten vermieden und die eingesetzten Elektrolytvolumina gering gehalten. Die Sensoren können lokal auf Bauteiloberflächen, auch in Aussparungen abgeschieden werden.

Der magnetoresistive Koeffizient der abgeschiedenen Sensorschichten variiert prozessbedingt zwischen 1,4 % und 1,9 %. Durch kerrmikroskopischen Untersuchungen der abgeschiedenen Sensorschichten wird die jeweilige Sensorcharakteristik, auf verschiedenen Subtraten und bei variierenden Prozessbedingungen, mit der jeweiligen Domänenstruktur in den sensitiven Schichten korreliert.

Erscheinungsdatum	09.07.2020
Reihe/Serie	Berichte aus dem IMPT ; 01/2020
Mitarbeit	Herausgeber (Serie): Lutz Rissing
Verlagsort	Garbsen
Sprache	deutsch
Maße	140 x 210 mm
Gewicht	180 g
Themenwelt	Technik ► Maschinenbau
Schlagworte	Galvanik • Magnetismus • Sensoren
ISBN-10	3-95900-462-1 / 3959004621
ISBN-13	978-3-95900-462-6 / 9783959004626
Zustand	Neuware