Neue CVD-Verfahren zur Herstellung dünner Halbleiterschichten (eBook)
116 Seiten
Cuvillier Verlag
978-3-7369-0002-8 (ISBN)
| Erscheint lt. Verlag | 10.12.1998 |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Themenwelt | Technik ► Maschinenbau |
| ISBN-10 | 3-7369-0002-3 / 3736900023 |
| ISBN-13 | 978-3-7369-0002-8 / 9783736900028 |
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