Development, Manufacturing and Characterization of Stacked MESA Photodiodes
Seiten
2016
|
1. Aufl.
Cuvillier Verlag
978-3-7369-9351-8 (ISBN)
Cuvillier Verlag
978-3-7369-9351-8 (ISBN)
- Keine Verlagsinformationen verfügbar
- Artikel merken
Diese Arbeit untersucht das Konzept von gestapelten Fotodioden basierend auf einem MESA Prozess. Eine Fotodiode mit einer vertikalen MESA Struktur ist eine neue Herangehensweise für die Detektion von farbigem Licht. Die Ergebnisse dieser Arbeit zeigen, dass ein Sensor zur Farbdetektion, basierend auf einer MESA Struktur, möglich ist.
Durch chemische Gasphasenabscheidungen wird ein n-i-p-n-i-p Stapel gewachsen, der sehr dünne p-n Übergänge besitzt. Danach werden die unterschiedlichen p-i-n Dioden mit Hilfe eines neu entwickelten Ätzprozesses separat kontaktiert. Eine freistehende MESA Struktur wird dadurch erzeugt, dass alle überflüssigen Teile der Struktur durch einen hochselektiven RIE Ätzprozess entfernt werden. Diese neu geschaffene Struktur wird dann mit einer Passivierung und Metallkontakten versehen. Dadurch ist es möglich, sehr dünne und separat kontaktierte p-n Übergänge zu schaffen.
Die hergestellten Prototypen wurden einzeln und gleichzeitig spektral vermessen um eine spektrale Antwort der Dioden zu erhalten. Diese spektrale Antwort wurde durch Simulationen sowie theoretische Berechnungen bestätigt.
Durch chemische Gasphasenabscheidungen wird ein n-i-p-n-i-p Stapel gewachsen, der sehr dünne p-n Übergänge besitzt. Danach werden die unterschiedlichen p-i-n Dioden mit Hilfe eines neu entwickelten Ätzprozesses separat kontaktiert. Eine freistehende MESA Struktur wird dadurch erzeugt, dass alle überflüssigen Teile der Struktur durch einen hochselektiven RIE Ätzprozess entfernt werden. Diese neu geschaffene Struktur wird dann mit einer Passivierung und Metallkontakten versehen. Dadurch ist es möglich, sehr dünne und separat kontaktierte p-n Übergänge zu schaffen.
Die hergestellten Prototypen wurden einzeln und gleichzeitig spektral vermessen um eine spektrale Antwort der Dioden zu erhalten. Diese spektrale Antwort wurde durch Simulationen sowie theoretische Berechnungen bestätigt.
| Erscheinungsdatum | 19.09.2016 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Chemical Vapour Deposition • CVD • Epitaxy • Photodiodes Vertical etching |
| ISBN-10 | 3-7369-9351-X / 373699351X |
| ISBN-13 | 978-3-7369-9351-8 / 9783736993518 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
| Haben Sie eine Frage zum Produkt? |
Mehr entdecken
aus dem Bereich
aus dem Bereich
Grundlagen, Systemtechnik und Analysen ausgeführter Beispiele …
Buch | Softcover (2025)
Springer Vieweg (Verlag)
CHF 55,95
Planungsfehler vermeiden – Probleme analysieren – Arbeitszahlen …
Buch | Softcover (2024)
VDE VERLAG
CHF 61,60
Wegweiser für Elektrofachkräfte
Buch | Hardcover (2024)
VDE VERLAG
CHF 67,20
