Nanofabrication (eBook)
VI, 81 Seiten
Springer International Publishing (Verlag)
978-3-319-31742-7 (ISBN)
Introduction.- Silicon Planar Processing and Photolithography.- Direct-write Lithography Approaches.- Stamping Methods.- Scanning-probe Methods.- Natural Lithography.- Direct-Growth and Self-assembly.- Practical Examples and Case Studies of Nanofabrication.
Erscheint lt. Verlag | 30.7.2016 |
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Reihe/Serie | SpringerBriefs in Materials |
Zusatzinfo | VI, 81 p. 41 illus., 31 illus. in color. |
Verlagsort | Cham |
Sprache | englisch |
Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
Schlagworte | Emerging Self-assembly Approaches • Metallic nanoparticles • Nanofabrication Applications • Nanofabrication Applications in Biotechnology • Nanofabrication Applications in Nanoelectronics • Nanofabrication from Lithography • Nanofabrication Principles • Nanopatterning Introduction • Nanoscale Patterning • self-assembly of nanostructures |
ISBN-10 | 3-319-31742-3 / 3319317423 |
ISBN-13 | 978-3-319-31742-7 / 9783319317427 |
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Größe: 3,7 MB
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