Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
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In dieser Dissertation wird eine Methodik zur Entwicklung von Beschleunigungssensoren, die speziell hochfrequente Belastungen hoher Amplitude messen sollen, vorgestellt. Mithilfe der Methodik, welche gleichzeitig Sensitivität und Bandbreite des Sensors optimiert, wird ein piezoresistives Design entwickelt und gefertigt, das höhere Leistungsdaten aufweist als existierende Lösungen.
| Erscheinungsdatum | 08.10.2016 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Schriftenreihe Forschungsergebnisse aus der Kurzzeitdynamik ; 28 |
| Zusatzinfo | zahlr. Abb. u. Tab. |
| Verlagsort | Stuttgart |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Angewandte Physik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | applied physics • Beschleunigung • Design • Fraunhofer EMI • Instruments & instrumentation engineering • mechanical engineering & materials • MEMS • Schock • Sensorik • Student • Studenten • Wissenschaftler und Ingenieure in Forschung und Industrie |
| ISBN-13 | 9783839609026 / 9783839609026 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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