Nanopositioning Technologies (eBook)
VI, 409 Seiten
Springer International Publishing (Verlag)
978-3-319-23853-1 (ISBN)
Part I Nanopositoning Technologies.- Fundamentals of Nanopositioning.- Introduction of Piezoelectric Nanopositioning.- Stick-Slip Actuation.- Piezo Motor-Based Nanopositioning Stages.- Flexure-Guided Nanopositioning Stage.- Parallel-Kinematic Nanopositioning Stage.- MEMS Electrostatic Nanopositioning.- MEMS Electromagnetic Nanopositioning.- MEMS Electrothermal Nanopositioning.- High-Speed MEMS Nanopositioning Stage.- Part II Modeling and Control of Nanopositioning Systems.- Hysteresis Model of Piezoelectric Actuator.- Feedforward Control for Nanopositioning.- Tracking Control for Nanopositioning.- Adaptive Inverse Control for Nanopositioning.- Control Issues of MEMS Nanopositioning Devices.- Part III Nanopositioning Applications.- Nanomanipulation Under Scanning Electron Microscope.- Nanopositioning for Storage Applications.- Fast Nanopositioning for AFM.- Nanopositioning for Pohtolithography.- Nanopositioning for Semiconductor Inspection.
| Erscheint lt. Verlag | 22.12.2015 |
|---|---|
| Zusatzinfo | VI, 409 p. 279 illus., 203 illus. in color. |
| Verlagsort | Cham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Flexure-Guided Nanopositioning • MEMS Nanopositioning • Nanomanipulation • Nanopositioning Applications • Nanopositoning Technologies • Nanopostioning • Piezoelectric Actuation • Piezoelectric Nanopositioning • Tracking Control for Nanopositioning |
| ISBN-10 | 3-319-23853-1 / 3319238531 |
| ISBN-13 | 978-3-319-23853-1 / 9783319238531 |
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