Entwurf und Realisierung eines überlastfesten kapazitiven Silizium-Primärsensors als Messelement für hochempfindliche Differenzdruck-Prozesssensoren

Timo Kober (Autor)

Buch | Softcover

262 Seiten

2015
Dr. Hut (Verlag)
978-3-8439-1932-6 (ISBN)

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Die Überlastfestigkeit von Differenzdrucksensoren der Prozessmesstechnik im Nennmessbereich 10 mbar wird gegenwärtig durch feinwerktechnische Messwerke mit Überlastplatte sichergestellt. Die Herstellung solcher Messwerke verursacht jedoch einen Großteil der Fertigungskosten.

In der vorliegenden Arbeit werden das statische und dynamische Übertragungsverhalten eines neuartigen Silizium-Messelements beschrieben. Das Ableiten geeigneter Konzepte zur Überlastsicherung liefert vier Varianten, die hinsichtlich der Überlastfestigkeit bewertet werden. Ausgangspunkt für den Entwurf des Messelements ist die Modellbildung zum Überlastverhalten vollflächig abgestützter Silizium-Messplatten.

Auf Basis dieser Forschungsergebnisse wird ein bis 160 bar beidseitig überlastfestes Messelement entwickelt und durch Überlastversuche die Berstfestigkeit des neuartigen Mikrosystems messtechnisch nachgewiesen.

Reihe/Serie	Elektrotechnik
Verlagsort	München
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Gewicht	397 g
Einbandart	Paperback
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Differenzdruck-Prozesssensoren • Messelemente • Silizium-Primärsensor
ISBN-10	3-8439-1932-1 / 3843919321
ISBN-13	978-3-8439-1932-6 / 9783843919326
Zustand	Neuware