Jenaer Arbeiten zur Elektronenstrahl-Lithographie

Peter Hahmann (Autor)

Buch | Softcover

168 Seiten

2014
Verlag Vopelius
978-3-939718-79-6 (ISBN)

Infos

In Jena hat die Elektronenstrahl-Lithographie eine erfolgreiche Entwicklung genommen. Nach 1990 verschärften sich die Wettbewerbsbedingungen. Andererseits war die Teilnahme am internationalen Gedanken- und Ideenaustausch deutlich leichter möglich als vorher. Zahlreiche Neuerungen sicherten die technische und kommerzielle Attraktivität der Geräte, die unter den Namen ZBA 31/32, SB250,SB350,SB3050 den Weg in viele Halbleiterfertigungszentren, Maskshops und Forschungszentren der Welt fanden.

Produkt-Details

• Erscheint lt. Verlag: 1.11.2014
• Sprache: deutsch
• Maße: 160 x 230 mm
• Gewicht: 402 g
• Einbandart: geklebt
• Themenwelt: Technik
• Schlagworte: Elektronenstrahl-Lithographie • Halbleiter • Jenaer Arbeiten
• ISBN-10: 3-939718-79-3 / 3939718793
• ISBN-13: 978-3-939718-79-6 / 9783939718796
• Zustand: Neuware