Lehrbuch Mikrosystemtechnik - Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler

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Lehrbuch Mikrosystemtechnik (eBook)

Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen

Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler (Autoren)

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2009
592 Seiten
De Gruyter (Verlag)
978-3-486-59411-9 (ISBN)

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Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.

Erscheint lt. Verlag	1.1.2009
Verlagsort	Berlin/München/Boston
Sprache	deutsch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
ISBN-10	3-486-59411-7 / 3486594117
ISBN-13	978-3-486-59411-9 / 9783486594119

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