Symposium on VLSI Technology
2000
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2000 ed.
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6307-6 (ISBN)
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6307-6 (ISBN)
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These conference prodeedings cover such topics as: copper interconnects; novel devices; high-K dielectrics; process technology; embedded DRAM; gate electrode engineering; DRAM cells; gate oxide scaling and reliability; DRAM capacitors; and high performance RF.
| Erscheint lt. Verlag | 9.7.2000 |
|---|---|
| Verlagsort | Piscataway NJ |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-7803-6307-8 / 0780363078 |
| ISBN-13 | 978-0-7803-6307-6 / 9780780363076 |
| Zustand | Neuware |
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