Transmission Electron Microscopy in Micro-nanoelectronics (eBook)
264 Seiten
John Wiley & Sons (Verlag)
978-1-118-57903-9 (ISBN)
This book presents in a simple and practical way the new quantitative techniques based on TEM which have recently been invented or developed to address most of the main challenging issues scientists and process engineers have to face to develop or optimize semiconductor layers and devices. Several of these techniques are based on electron holography; others take advantage of the possibility of focusing intense beams within nanoprobes. Strain measurements and mappings, dopant activation and segregation, interfacial reactions at the nanoscale, defect identification and specimen preparation by FIB are among the topics presented in this book. After a brief presentation of the underlying theory, each technique is illustrated through examples from the lab or fab.
Alain Claverie is Directeur of CEMES/CNRS, Toulouse, France.
Introduction
Chapter 1 Strain mapping using diffraction techniques NBD (Leti XX), CBED
Chapter 2 Strain mapping using GPA/HREM
Chapter 3 Dopant mapping using bright field TEM
Chapter 4 Strain mapping using dark field holography
Chapter 5 Interdiffusion and chemical reaction at interfaces by EELS
Chapter 6 Dopant segregation using STEM-EELS
Chapter 7 Chemical imaging using STEM-HAADF
Chapter 8 Characterization of process induced defects
Chapter 9 Specimen preparation by FIB
Chapter 10 Magnetic mapping using bright field holography
"This is a remarkable reference on transmission electron
microscopy (TEM) that includes applications for nanotechnology and
micro-nanoelectronics. This accessible book will be useful for a
wide readership, including researchers and students in material
science, microscopy and physical chemistry." (Optics
& Photonics News, 9 October 2013)
| Erscheint lt. Verlag | 24.1.2013 |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Electrical & Electronics Engineering • Elektrotechnik u. Elektronik • MEMS |
| ISBN-10 | 1-118-57903-8 / 1118579038 |
| ISBN-13 | 978-1-118-57903-9 / 9781118579039 |
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