Microlithography Lens Design
1999
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-3379-4 (ISBN)
SPIE Press (Hersteller)
978-0-8194-3379-4 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 31.5.1999 |
|---|---|
| Verlagsort | Bellingham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik |
| ISBN-10 | 0-8194-3379-9 / 0819433799 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-3379-4 / 9780819433794 |
| Zustand | Neuware |
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