Characterization of Silicon Membrane Wafers and Optimization of their Process Stability for Ultra-Thin Chip Fabrication
Seiten
2012
Der Andere Verlag
978-3-86247-229-1 (ISBN)
Der Andere Verlag
978-3-86247-229-1 (ISBN)
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| Zusatzinfo | 76 Abb., davon 11 in Farbe; 9 Tabellen |
|---|---|
| Sprache | englisch |
| Maße | 150 x 230 mm |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Chip fabrication • ChipFilm • Chipherstellung • Silizium Technologie • Ultra-dünne Chips • Ultra-thin Chips |
| ISBN-10 | 3-86247-229-9 / 3862472299 |
| ISBN-13 | 978-3-86247-229-1 / 9783862472291 |
| Zustand | Neuware |
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