Plasma Process-Induced Damage: 3rd Int Symp 1998
Seiten
1998
IEEE Publications,U.S. (Hersteller)
978-0-9651577-2-8 (ISBN)
IEEE Publications,U.S. (Hersteller)
978-0-9651577-2-8 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 1.1.1998 |
|---|---|
| Verlagsort | Piscataway NJ |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-9651577-2-5 / 0965157725 |
| ISBN-13 | 978-0-9651577-2-8 / 9780965157728 |
| Zustand | Neuware |
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