Dry Etching for Microelectronics
Seiten
1984
Elsevier Science Ltd (Verlag)
9780444869050 (ISBN)
Elsevier Science Ltd (Verlag)
9780444869050 (ISBN)
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| Zusatzinfo | 105ill.17tabs. |
|---|---|
| Verlagsort | Oxford |
| Sprache | englisch |
| Maße | 150 x 230 mm |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-13 | 9780444869050 / 9780444869050 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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