Mikrostrukturierte Elektroden

Prozesstechnik und Herstellung

Markus Svarc (Autor)

Buch | Softcover

96 Seiten

2010
VDM Verlag Dr. Müller
978-3-639-25240-8 (ISBN)

Titel nicht im Sortiment

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Die Verwendung von doppelseitig freitragenden mikrostrukturierten Elektroden in MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) und Radiofrequenzfallen sind derzeit Gegenstand aktueller Entwicklungen. Dieses Buch stellt die chemischen und physikalischen Verfahren und einen schrittweisen Herstellungsprozess für die Erzeugung von mikrostrukturierten Elektroden vor. Um freitragende Metallelektroden zu erhalten wurde eine isotrope Tiefätzung eines Trägermaterials (in diesem Falle SiO2) durchgeführt, welche eine Unterätzung der Elektroden erzeugt. Zur Bearbeitung des Trägermaterials und der Metallisierung wurde auf Standardverfahren in der Prozesstechnik (Flusssäure für die isotrope Tiefenätzung, Argon-Plasma zum Sputtern der Metallisierung, Photolack zur Übertragung der Struktur der Belichtungsmaske) zurückgegriffen. Weiters wurde die Veränderung des Photolacks durch Argon-Beschuss und die Haltbarkeit der Metallisierung bei langen (24h-48h) Ätzzeiten in Flusssäure untersucht. Dieses Buch wendet sich an StudentInnen und ForscherInnen im Bereich mikromechanischer Systeme (MEMS) und VerfahrenstechnikerInnen.

Markus Svarc, Dipl.-Ing.: Studium der Elektrotechnik/Computertechnik an der TU Wien. Wissenschaftlicher Mitarbeiter an der TU Wien, Forschungsbereich: MARC - Methodology for Accurate and Robust Communication Systems

Sprache	deutsch
Maße	150 x 220 mm
Gewicht	144 g
Themenwelt	Technik
Schlagworte	Vakuumtechnik • Verfahrenstechnik
ISBN-10	3-639-25240-3 / 3639252403
ISBN-13	978-3-639-25240-8 / 9783639252408
Zustand	Neuware