Entwicklung und Analyse von spannungsoptischen Methoden zur Absolutspannungsmessung in anisotropen Halbleitermaterialien

Markus Stöhr (Autor)

Buch | Softcover

130 Seiten

2025
TUDpress (Verlag)
9783959088084 (ISBN)

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Mechanische Restspannungen beeinflussen die Fertigung von Halbleitermaterialien. Die spannungsoptische Methode bietet eine zerstörungsfreie Möglichkeit zur präzisen Messung dieser Spannungen – doch die starke Anisotropie der Materialien stellt eine besondere Herausforderung dar. Dieses Buch beleuchtet die spannungsinduzierte Doppelbrechung und zeigt Wege auf, wie sich die Spannungsoptik gezielt für Halbleitermaterialien anwenden lässt. Typischerweise lassen sich mit der Spannungsoptik nur Spannungsdifferenzen messen. Diese Arbeit präsentiert nun eine Möglichkeit, den absoluten Spannungszustand mit Hilfe der Spannungsoptik numerisch zu berechnen, was erlaubt, den vollständigen zweidimensionalen Spannungszustand zu ermitteln. Dies ermöglicht eine bessere Prozesskontrolle bei der Halbleiterkristallen.

Erscheinungsdatum	04.12.2025
Reihe/Serie	Dresdner Beiträge zur Sensorik ; 91
Verlagsort	Dresden
Sprache	deutsch
Maße	1580 x 2250 mm
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Biologie ► Humanbiologie
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Elektromagnete • Elektrotechnik • Halbleiter • Mechanik • Methodik • Optik • Sensorik • Spannung • Validierung • Wafer
ISBN-13	9783959088084 / 9783959088084
Zustand	Neuware