Micro-Nano Manufacturing and Micro-Electro-Mechanical Systems
Seiten
2026
Springer Singapore (Hersteller)
978-981-95-4758-6 (ISBN)
Springer Singapore (Hersteller)
978-981-95-4758-6 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 5.3.2026 |
|---|---|
| Reihe/Serie | Mechanical Engineering (R0) |
| Zusatzinfo | XII, 349 p. 248 illus., 139 illus. in color. |
| Verlagsort | Singapore |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Chemie ► Analytische Chemie |
| Naturwissenschaften ► Chemie ► Physikalische Chemie | |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | LIGA/quasi-LIGA Technology • micro-electro-mechanical systems (MEMS) • Micro-nano Device • Micro-nano Manufacturing • Silicon Microprocessing Technology |
| ISBN-10 | 981-95-4758-X / 981954758X |
| ISBN-13 | 978-981-95-4758-6 / 9789819547586 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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