Herstellung und Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten in der Plasma-Immersions-Ionenimplantation
Seiten
2006
|
1., Aufl.
Shaker (Verlag)
978-3-8322-5358-5 (ISBN)
Shaker (Verlag)
978-3-8322-5358-5 (ISBN)
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| Reihe/Serie | Berichte aus der Physik |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 180 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik |
| Schlagworte | Amorphe Kohlenstoffschichten • DLC • HC/Physik, Astronomie/Atomphysik, Kernphysik • Ionenimplantation • PIII & D • Plasmaprozesse |
| ISBN-10 | 3-8322-5358-0 / 3832253580 |
| ISBN-13 | 978-3-8322-5358-5 / 9783832253585 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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