Verarbeitung von PZT-Folien

Juan Ramos Cano, Gregorio Gonzalez Z, Ma Gloria Rosales Sosa (Autoren)

Buch | Softcover

80 Seiten

2024
Verlag Unser Wissen
978-620-7-01503-0 (ISBN)

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In den letzten vier Jahrzehnten hat die Entwicklung der Mikroelektronikindustrie den Trend zur Herstellung ultradünner (mit nanometrischer Mikrostruktur) und ultrareiner (ohne Verunreinigungen oder Defekte) Materialien gesetzt, die eine Steigerung der funktionellen Effizienz ihrer Teile bei kleinstmöglichem Volumen garantieren. Das übergeordnete Ziel dieser Arbeit war die Synthese (Abscheidung und Glühen) ferroelektrischer Bleititanat-Schichten (PT), die auf einem Pt/Ti/SiO2/Si <100> Substrat abgeschieden wurden. Aus den oben genannten Gründen wurde die CVD-AA-Methode verwendet. Im Allgemeinen ist bei dieser Art von Filmen das Tempern ein notwendiger Schritt, um die gewünschte (ferroelektrische) Perowskitphase zu erhalten. Die Arbeit umfasst die entsprechende thermogravimetrische Analyse sowie die kristallographische und mikrostrukturelle Charakterisierung. Zu den Ergebnissen gehört, dass die Filme eine gute chemische und strukturelle Homogenität auf mikrometrischer Ebene aufweisen, dass die in den Filmen vorhandenen Phasen den gewünschten Phasen entsprechen und dass ferroelektrische Domänen beobachtet wurden.

Dr. Juan Ramos Cano ist Professor an der Universidad Autónoma de Coahuila, wo er verschiedene Fächer unterrichtet, darunter: Elektrizität und Magnetismus, Materialwissenschaft und Charakterisierungstechniken. Seinen Doktortitel erwarb er am Centro de Investigación en Materiales Avanzados (CIMAV) in Chihuahua, Mexiko.

Erscheinungsdatum	11.01.2024
Sprache	deutsch
Maße	152 x 229 mm
Gewicht	131 g
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie ► Technische Chemie
Themenwelt	Technik
Schlagworte	cristalografía • Depositación • Química de Vapor • Síntesis
ISBN-10	620-7-01503-7 / 6207015037
ISBN-13	978-620-7-01503-0 / 9786207015030
Zustand	Neuware