Wachstum und Charakterisierung von ITO-Dünnschichten durch Magnetronsputtern

Öcal Tuna (Autor)

Buch | Softcover

96 Seiten

2021
Verlag Unser Wissen
9786203340150 (ISBN)

Keine Verlagsinformationen verfügbar

Artikel merken

In dieser Studie wurden dünne Indium-Zinn-Oxid (ITO)-Filme sowohl mit DC- als auch mit RF-Magnetron-Sputtertechniken aufgewachsen. Um die Abscheidungsrate von ITO zu kennen, wurde das System sowohl für DCMS als auch für RFMS kalibriert. Anschließend wurde ITO auf einem Glassubstrat mit einer Dicke von 70 nm und 40 nm unter Änderung der Substrattemperatur gezüchtet. Der Einfluss der Substrattemperatur, der Schichtdicke und der Sputtermethode auf die strukturellen, elektrischen und optischen Eigenschaften wurde untersucht. Die Ergebnisse zeigen, dass die Substrattemperatur und die Schichtdicke die Schichteigenschaften wesentlich beeinflussen, insbesondere die Kristallisation und den spezifischen Widerstand. Die dünnen Schichten, die bei einer Temperatur von weniger als 150 oC gewachsen sind, zeigten eine amorphe Struktur. Mit der weiteren Erhöhung der Substrattemperatur wurde jedoch eine Kristallisation festgestellt. Die Bandlücke von ITO wurde bei einer Substrattemperatur von 150 °C mit etwa 3,64 eV berechnet und vergrößerte sich mit zunehmender Substrattemperatur. Die elektrischen Messungen ergaben einen spezifischen Widerstand bei Raumtemperatur von 1,28×10-4 und 1,29×10-4 D-cm für DC- bzw. RF-gesputterte Schichten. Wir haben auch die Temperaturabhängigkeit des spezifischen Widerstandes und des Hall-Koeffizienten der Filme gemessen und die Ladungsträgerkonzentration und die Hall-Mobilität berechnet.

Tuna, ÖcalEr hat sein Studium an der Dokuz Eylül Universität in den Jahren 2000 bis 2005 abgeschlossen und 2009 seinen Master of Science am Izmir Institute of Technology gemacht. Derzeit promoviert er an der RWTH Aachen und arbeitet an der Herstellung von InN und In-reichen Heterostrukturen durch MOCVD und deren Charakterisierung.

Erscheinungsdatum	25.10.2021
Sprache	deutsch
Maße	152 x 229 mm
Gewicht	154 g
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Theoretische Physik
Schlagworte	Wachstum ITO
ISBN-13	9786203340150 / 9786203340150
Zustand	Neuware