Croissance et caractérisation d'une couche mince d'ITO par pulvérisation magnétron

Öcal Tuna (Autor)

Buch | Softcover

96 Seiten

2021
Editions Notre Savoir (Verlag)
9786203340204 (ISBN)

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Dans cette étude, des couches minces d'oxyde d'étain et d'indium (ITO) ont été produites par des techniques de pulvérisation magnétron DC et RF. Pour connaître la vitesse de dépôt de l'ITO, le système a été calibré pour les deux techniques DCMS et RFMS, puis les ITO ont été cultivés sur un substrat de verre d'une épaisseur de 70 nm et 40 nm en changeant la température du substrat. L'effet de la température du substrat, de l'épaisseur du film et de la méthode de pulvérisation sur les propriétés structurelles, électriques et optiques a été étudié. Les résultats montrent que la température du substrat et l'épaisseur du film affectent considérablement les propriétés du film, en particulier la cristallisation et la résistivité. Les couches minces cultivées à moins de 150 oC présentaient une structure amorphe. Cependant, la cristallisation a été détectée avec l'augmentation de la température du substrat. La bande interdite de l'ITO a été calculée à environ 3,64eV à la température du substrat de 150 oC, et elle a été élargie avec l'augmentation de la température du substrat. Des mesures électriques ont permis d'obtenir une résistivité à température ambiante de 1,28×10-4 et 1,29×10-4 D-cm, respectivement pour les films pulvérisés DC et RF. Nous avons également mesuré la résistivité en fonction de la température et le coefficient de Hall des films, et nous avons calculé la concentration des porteurs et la mobilité de Hall.

Tuna, ÖcalIl a obtenu son baccalauréat en sciences à l'université de Dokuz Eylül entre 2000 et 2005 et sa maîtrise en sciences à l'institut de technologie d'Izmir en 2009. Actuellement, il prépare son doctorat à l'université RWTH d'Aix-la-Chapelle en Allemagne et travaille sur la croissance de l'InN et de l'hétérostructure riche par MOCVD et leur caractérisation.

Erscheinungsdatum	25.10.2021
Sprache	französisch
Maße	152 x 229 mm
Gewicht	154 g
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Theoretische Physik
Schlagworte	croissance ITO
ISBN-13	9786203340204 / 9786203340204
Zustand	Neuware