Chemistry of Atomic Layer Deposition

Seán Thomas Barry (Autor)

Buch | Softcover

VIII, 105 Seiten

2021
De Gruyter (Verlag)
978-3-11-071251-3 (ISBN)

Infos

This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.

Autor

Seán Thomas Barry, Carleton University, Ottawa, Canada.

Produkt-Details

• Erscheinungsdatum: 09.11.2021
• Reihe/Serie: De Gruyter Textbook
• Zusatzinfo: 5 b/w and 70 col. ill., 20 b/w tbl.
• Verlagsort: Berlin/Boston
• Sprache: englisch
• Maße: 170 x 240 mm
• Gewicht: 214 g
• Themenwelt: Naturwissenschaften ► Chemie ► Technische Chemie
• Themenwelt: Technik ► Maschinenbau
• Schlagworte: Atomic Layer Deposition • Beschichtungen • Materials Fabrication. • Materialwissenschaften • Oberflächen • Thin Film Deposition • Wekstoffwissenschaften
• ISBN-10: 3-11-071251-2 / 3110712512
• ISBN-13: 978-3-11-071251-3 / 9783110712513
• Zustand: Neuware