Laser-optische Messverfahren zur Charakterisierung von Oberflächendefekten im Nanometerbereich
Seiten
2019
Verlag Günter Mainz
9783958862661 (ISBN)
Verlag Günter Mainz
9783958862661 (ISBN)
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Das Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die In-Prozess-Fähigkeit von Streulicht-Messverfahren in Bezug auf eine Charakterisierung von Streulicht-Messverfahren in Bezug auf eine Charakterisierung von stochastisch verteilten Nanostrukturen unter Beweis zu stellen. Die Herausforderung ist hierbei, dass die Einflüsse von aperiodischen Nanostrukturen bzw. deren Defekte auf das Streulicht-Muster in der Regel unbekannt sind. Die Lösung des inversen Problems erfolgt deshalb über die Identifikation von defektspezifischen Merkmalen in einer großen Menge simulierter Feldverteilungen.
| Erscheinungsdatum | 19.03.2019 |
|---|---|
| Reihe/Serie | BIMAQ ; 7 |
| Zusatzinfo | Tabellen und schematische Darstellungen |
| Verlagsort | Aachen |
| Sprache | deutsch |
| Maße | 148 x 210 mm |
| Gewicht | 276 g |
| Themenwelt | Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Optik |
| Schlagworte | In-Prozess-Messtechnik • Laser • Messtechnik • Physik • Produktionstechnik • Streulicht |
| ISBN-13 | 9783958862661 / 9783958862661 |
| Zustand | Neuware |
| Informationen gemäß Produktsicherheitsverordnung (GPSR) | |
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