Sputtering by Particle Bombardment I

Physical Sputtering of Single-Element Solids

Buch | Softcover

XI, 284 Seiten

2014 | Softcover reprint of the original 1st ed. 1981
Springer Berlin (Verlag)
978-3-662-30888-2 (ISBN)

Artikel merken

With contributions by numerous experts

and overview.- Sputtering by ion bombardment theoretical concepts.- Theoretical aspects of monocrystal sputtering.- Sputtering yield measurements.- Sputtering yields of single crystalline targets.

Erscheint lt. Verlag	23.8.2014
Reihe/Serie	Topics in Applied Physics
Zusatzinfo	XI, 284 p. 19 illus.
Verlagsort	Berlin
Sprache	englisch
Maße	155 x 235 mm
Gewicht	457 g
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie ► Analytische Chemie
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Atom- / Kern- / Molekularphysik
	Naturwissenschaften ► Physik / Astronomie ► Festkörperphysik
Schlagworte	Boundary element method • Concept • Crystal • Ion • Measurement • particle • solid
ISBN-10	3-662-30888-6 / 3662308886
ISBN-13	978-3-662-30888-2 / 9783662308882
Zustand	Neuware