Blick ins Buch

Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

Stephanie Kißling (Autor)

Buch | Softcover

II, 109 Seiten

2010
KIT Scientific Publishing (Verlag)
9783866445482 (ISBN)

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Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.

Erscheint lt. Verlag	3.9.2010
Reihe/Serie	Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie ; 6
Zusatzinfo	Ill., graph. Darst.
Sprache	deutsch
Maße	148 x 210 mm
Gewicht	250 g
Einbandart	Paperback
Themenwelt	Naturwissenschaften ► Chemie ► Physikalische Chemie
Schlagworte	Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) • Elektropolieren • Galvanotechnik • Mikrogalvanoformung • Nickel • Oberfläche • Plasmapolieren • Rauheitsmessung
ISBN-13	9783866445482 / 9783866445482
Zustand	Neuware