MEMS: A Practical Guide of Design, Analysis, and Applications (eBook)
XXV, 965 Seiten
Springer Berlin (Verlag)
978-3-540-33655-6 (ISBN)
A new generation of MEMS books has emerged with this cohesive guide on the design and analysis of micro-electro-mechanical systems (MEMS). Leading experts contribute to its eighteen chapters that encompass a wide range of innovative and varied applications. This publication goes beyond fabrication techniques covered by earlier books and fills a void created by a lack of industry standards. Subjects such as transducer operations and free-space microsystems are contained in its chapters. Satisfying a demand for literature on analysis and design of microsystems the book deals with a broad array of industrial applications. This will interest engineering and research scientists in industry and academia.
Microtransducer Operation.- Material Properties: Measurement and Data.- MEMS and NEMS Simulation.- System-Level Simulation of Microsystems.- Thermal-Based Microsensors.- Photon Detectors.- Free-Space Optical MEMS.- Integrated Micro-Optics.- Microsensors for Magnetic Fields.- Mechanical Microsensors.- Semiconductor-Based Chemical Microsensors.- Microfluidics.- Biomedical Systems.- Microactuators.- Micromachining Technology.- LIGA Technology for R&D and Industrial Applications.- 17 Interface Circuitry and Microsystems.
| Erscheint lt. Verlag | 28.5.2010 |
|---|---|
| Zusatzinfo | 900 p. |
| Verlagsort | Berlin |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Technik ► Maschinenbau | |
| Schlagworte | microelectromechanical system (MEMS) • Microelectromechanical Systems • Micromachining • microsystems • Microtechnology • Optics • Production • Reference • Sensor • Simulation • Standard |
| ISBN-10 | 3-540-33655-9 / 3540336559 |
| ISBN-13 | 978-3-540-33655-6 / 9783540336556 |
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