Advanced Gate Stack, Source/Drain and Channel Engineering for Si-Based CMOS 3; New Materials, Processes and Equipment; Proceedings

Advanced Gate Stack, Source/Drain and Channel Engineering for Si-Based CMOS (3rd--2007--Chicago, Il)

M C Ozturk (Herausgeber)

Buch | Softcover

470 Seiten

2007
Electrochemical Society (Verlag)
978-1-56677-550-2 (ISBN)

Produkt-Details

• Erscheint lt. Verlag: 1.1.2007
• Reihe/Serie: Ecs Transactions ; 6, NO.1
• Zusatzinfo: illustrations
• Sprache: englisch
• Themenwelt: Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
• ISBN-10: 1-56677-550-7 / 1566775507
• ISBN-13: 978-1-56677-550-2 / 9781566775502
• Zustand: Neuware