MEMS in der Mikrosystemtechnik
Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Seiten
2005
Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
978-3-519-00520-9 (ISBN)
Springer Fachmedien Wiesbaden (Verlag)
978-3-519-00520-9 (ISBN)
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Dieses Lehrbuch behandelt die wichtigsten Werkstoffeigenschaften, physikalischen Grundlagen und Verfahren zur Herstellung mikroelektromechanischer Sensorsysteme (sog. MEMS) und grundlegender Sensorstrukturen. Es vermittelt die Sensorwirkprinzipien und -designs und führt in die Grundlagen der Sensorsignalverarbeitung ein. Abschließend folgen Anwendungsbeispiele für EMS. Ziel ist es, Studierenden der Elektrotechnik, der Mechatronik aber auch des Maschinenbaus die Prozesstechnik, die Realisierung und den Aufbau mikroelektromechanischer Systeme zu veranschaulichen.
Dr.-Ing. Markus Glück ist Geschäftsführer und Leiter des Technologiezentrum Westbayern und seit 2003 Lehrbeauftragter an der FH Augsburg.
| Zusatzinfo | 94 schw.-w. Abb., 7 schw.-w. Tab. |
|---|---|
| Sprache | deutsch |
| Maße | 170 x 240 mm |
| Gewicht | 385 g |
| Einbandart | Paperback |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| Schlagworte | Hardcover, Softcover / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Mechatronik • MEMS • MEMS (Mikroelektromechanische Systeme) • Mikroelektromechanik • Mikrosystemtechnik • Sensoren • Sensorsysteme |
| ISBN-10 | 3-519-00520-4 / 3519005204 |
| ISBN-13 | 978-3-519-00520-9 / 9783519005209 |
| Zustand | Neuware |
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